La industria de empaquetado pertenece al proceso de producción final en la producción entera de IC. En este proceso, para el paquete plástico IC, IC híbrido o IC monolítico, hay principalmente oblea que enrarece (pulido), el cortar de la oblea (trazado), y cargamento de la base. (Hoja adhesiva), soldadura de presión (vinculación), empaquetando (encapsulación), pre-curando, electrochapando, imprimiendo, poste-curado, cortando costillas, el montaje del tubo, la prueba del poste-lacre, el etc. Cada proceso tiene diversos requisitos para los ambientes del proceso diferente.
La influencia de factores electrostáticos en el empaquetado de IC
En primer lugar, la causa de la electricidad estática se puede considerar por todas partes. Hoy, con el desarrollo rápido de la ciencia y de la tecnología y el alto nivel de automatización en la producción industrial, el daño de la electricidad estática en la producción industrial es ya obvio. Puede causar diversos obstáculos, limitar la mejora del nivel de la automatización y afectar a calidad del producto. Aquí están las razones principales de la generación de electricidad estática basada en la situación real de nuestra fábrica en el empaquetado del circuito integrado y el proceso de producción.
1. Los materiales de la construcción y de la decoración en el taller de la producción son sobre todo materiales de alta resistencia. El proceso de producción de IC requiere el uso de un taller limpio o de un taller ultra-limpio.
El tamaño de partícula de partículas de polvo-eliminación se requiere para ser cambiado de los 0.3μm a los 0.1μm anteriores, y la densidad de la partícula de polvo está sobre 353/m3. Con este fin, además de la instalación del diverso equipo de la eliminación del polvo, los materiales libres de polvo inorgánicos y orgánicos se deben utilizar para prevenir el polvo. Sin embargo, el funcionamiento eléctrico de los materiales de construcción no se considera como indicador. No hay disposición en las especificaciones del diseño para los talleres limpios de empresas industriales. Los materiales principales de la decoración interior usados en el taller limpio de la fábrica de IC son: piso elástico del poliuretano, nilón, plástico duro, polietileno, papel pintado plástico, resina, madera, placa blanca de la porcelana, esmalte, yeso, etc. La mayor parte de los materiales antedichos son compuestos o aisladores del polímero. Por ejemplo, la resistencia del cuerpo del plexiglás es el 1012~1014Ω/cm, y la resistencia del cuerpo del polietileno es el 1013~1015Ω/cm, así que la conductividad es relativamente pobre, y la electricidad estática debido a una cierta razón no es fácil de escaparse a la tierra a través de ellos, dando por resultado la acumulación de electricidad estática.
2. Electricidad estática del cuerpo humano
Los diversos movimientos y el caminar hacia adelante y hacia atrás de los operadores del sitio limpio, de los lenguados de los zapatos y de la tierra están constantemente en contacto y la separación cercanos, y las diversas partes del cuerpo humano también tienen actividades y fricción. Si es el caminar rápido, reduzca caminar, o trotando, la electricidad estática será generada, que es la supuesta carga que camina; el cuerpo humano se levanta después de mover. , La ropa de trabajo llevada por el cuerpo humano y la superficie de la silla se separan después de entrar en contacto con la superficie de la silla, y la electricidad estática también será generada. Si el voltaje electrostático del cuerpo humano no puede ser eliminado y se toca el chip CI, puede causar la avería de IC unknowingly.
3. Electricidad estática causada por la purificación del aire acondicionado y del aire
Puesto que la producción de IC requiere el derecho 45-55%, la purificación del aire acondicionado y del aire debe ser ejecutada. El aire deshumedecido se envía al cuarto limpio a través del filtro primario, del filtro medio de la eficacia, del filtro de la eficacia alta y del tubo de aire. Generalmente, la velocidad del viento del tubo de aire principal es 8~10m/s, y la pared interna del tubo de aire se pinta. Cuando el aire seco y el tubo de aire, el aire seco y el movimiento del filtro en relación con, electricidad estática serán generados. Debe ser observado que la electricidad estática es más sensible a la humedad.
Además, el transporte de productos semielaborados y de los productos de IC generará electricidad estática durante el empaquetado y el transporte, que es uno de los factores de electricidad estática.
En segundo lugar, el daño de la electricidad estática a IC es considerable. Hablando en términos generales, la electricidad estática tiene las características del alto potencial y del campo eléctrico fuerte. En curso de carga electrostática y descarga, la descarga de gran intensidad transitoria y el pulso electromágnetico (EMP) se forman a veces, generando campos de radiación electromágnetica con una amplia gama.
Además, comparado con energía eléctrica convencional, la energía electrostática es relativamente pequeña. En el proceso natural de la electrificación-descarga, los parámetros de la descarga electrostática (ESD) son incontrolables, y es un proceso al azar que es difícil de repetir. Por lo tanto, su papel es afectado a menudo por la gente. Ignorado. Especialmente en el campo de la tecnología de la microelectrónica, el daño que nos causa está asombrando. Según informes, la pérdida económica directa causada por electricidad estática es tan alta como varios cientos de millón de yuan cada año. La electricidad estática se ha convertido en un obstáculo importante al desarrollo de la industria de la microelectrónica.
En el taller de la producción del dispositivo de semiconductor, debido a la adsorción del polvo en el microprocesador, la producción de los ICs, especialmente mismo circuitos integrados del gran escala (VLSI), será reducido grandemente. Los operadores en el taller de la producción de IC llevan los guardapolvos limpios. Si el cuerpo humano se encarga de electricidad estática, es fácil absorber el polvo y la suciedad. Si este el polvo y la suciedad se traen al sitio de la operación, afectará a calidad del producto, deteriora funcionamiento de producto, y reduce grandemente la producción del Ic. Si el radio de las párticulas de polvo fijadas por adsorción es mayor del μm 100 y la línea anchura es el μm cerca de 100, cuando el espesor del film está debajo del μm 50, el producto es más probable ser desechado.
En tercer lugar, el daño de la electricidad estática a IC tiene ciertas características.
(1) la ocultación a menos que ocurra la descarga electrostática, el cuerpo humano no puede percibir directamente electricidad estática, pero el cuerpo humano puede no sentir una descarga eléctrica cuando ocurre la descarga electrostática. Esto es porque la tensión de descarga electrostática detección por el cuerpo humano es 2~3kv, así que se encubre la electricidad estática.
(2) la potencialidad el funcionamiento de algunos fregaderos no se reduce perceptiblemente después de ser dañado por electricidad estática, pero las descargas acumulativas múltiples causarán daño interno a los dispositivos de IC y formarán peligros ocultados. Por lo tanto, la electricidad estática tiene potencial para dañar IC.
¿(3) bajo qué circunstancias puede IC al azar sufrir daño electrostático? Puede ser dicho que de la producción de un chip CI hasta que se dañe, todos los procesos es amenazado por electricidad estática, y la generación de electricidad estática es también al azar. Su daño es también al azar.
(4) el análisis del fracaso del daño complejo de la descarga electrostática es debido a la multa, fino largos, necesitandos mucho trabajo, y costosos, y a las características estructurales minúsculas de los productos microelectrónicos de IC, requiriendo alta tecnología y requiriendo a menudo el uso de instrumentos altamente sofisticados, sin embargo algunos fenómenos electrostáticos del daño son también difíciles de distinguir del daño causado por otras razones; error de la gente que el fracaso del daño de la descarga electrostática como otros fracasos, que se atribuyen a menudo al fracaso temprano o a las condiciones desconocidas antes de la comprensión completa del daño de la descarga electrostática el fracaso, así inconsciente cubra encima de la causa real del fracaso. Por lo tanto, se complica para analizar el daño de la electricidad estática a IC.
¡Cosiderándolo todo, es necesario establecer un sistema de protección electrostático en curso de proceso, producción y empaquetado de IC! Las líneas de montaje de empaquetado de IC tienen requisitos más estrictos para la electricidad estática. Para asegurar la operación normal de la cadena de producción, la decoración total de los materiales de construcción antiestáticos se realiza en el taller limpio, y equipan a todos los personales que entran en y que salen del taller limpio de ropa antiestática. Además de adoptar medidas del hardware, la compañía de empaquetado puede seguir los estándares nacionales relevantes y la situación real de la compañía. La situación ha formulado estándares corporativos o requisitos específicos en términos de antiestático de cooperar con la operación normal de las líneas de montaje de empaquetado de IC. Con la extensión de las líneas de envasado de IC de mi país, la mejora de capacidades de empaquetado, el aumento en variedades de empaquetado, y requisitos más altos para la calidad y producción del producto, correspondientemente, los diversos requisitos de software y de soporte físico y la conciencia de la protección electrostática para todo el fortalecimiento de los médicos es aún más importantes, y ésta es también que juega y de actuación como el “papel principal” y “asesino invisible” que afecta a la calidad de nuestros productos. Por lo tanto, la protección electrostática será un tema importante en la industria entera de IC actualmente y en el futuro.
